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首頁大國芯

第80章浸入式光刻機

就在華芯集團上下圍繞著張樹林這一典型進行著各種宣傳活動,推動集團業務的拓展,各種計劃的施行之時,孫毅也得到了來自李東來的答復,組織上已經同意了他的要求。

于是他立即用上華半導體的名義,拿出五億人民幣購入了華晶51%的股權,實現了對華晶的掌控。

拿到華晶控股權以后,孫毅并沒有急著新官上任三把火,而是開始了對為華晶提供如光刻機、刻蝕機等相關生產設備單位的調研工作。

經過了三個多月的走訪調研,孫毅對這些供應配套設備的單位,已經有了一個全面的了解。知道了他們的產品目前在國際上處于一個怎樣的水準,自身又有著怎么的技術研發實力。

“下面我們還有哪幾家需要調研?”在趕往下一家調研單位的路上,這些日子忙得有些暈頭轉向的孫毅,放下手中的調研資料,靠在商務車的柔軟座椅的靠背上,揉了揉自己的太陽穴,問身邊的助理小李道。

還沒等小李開口,他對面跟隨他一起參與調研工作的吳銘開口替小李回答道:“沒了,剛剛調研的那家就是最后一家,明天我們就可以回華晶了。”

聽到調研已經結束,一股淡淡的惆悵,夾著諸多的緊迫涌上他的心頭。

回想起調研時看到的一幕幕,再對比國外的同行的產品,他感到國內在半導體制造設備上,是落后如此之多。

一想到這些,他就忍不住嘆道:“沒想到這么快就結束了,就是結果有些不容樂觀。”

吳銘皺著眉頭,接過話茬道:“是呀!其他的雖然問題也多,但終歸還有趕上去的希望。

唯有光刻機,雖說中科院光電所已經研發出分步光刻機,達到了國外80年代中期的水平。

可由于技術難度大,研發資金投入巨大,到目前為止相關研發工作進展緩慢,與國外先進水平之間的差距是越拉越大。”

說起光刻機,孫毅就是一陣無奈。

光刻機這一難題即便在重生之前的2019年,仍就在羈絆著中國半導體產業的發展。

它就像是木桶理論中那最短的一塊短板,哪怕那時的中國在刻蝕機等其它半導體制造設備上水平非常高,也因為缺失了光刻機這一環,而導致中國的半導體產業始終落后兩代,達不到國際先進水平。

現在哪怕是他知道了光刻機的重要性,對此仍舊感到有些束手無策。

光刻機的研發投入太大,風險又太高,僅憑華芯現在的實力,最多只能在后面推上一把,想要推動光刻機的研發,讓它趕上國際先進水平,卻是有些癡人說夢。

想到這些他就只能無奈地搖了搖頭,對吳銘苦笑道:“這也是沒有辦法的事,我們的精密加工技術跟不上,再加上國家資金短缺,沒有足夠的資金投入到光刻機的研發中,尤其是光刻機的光源這一塊。

導致我們一步慢,步步慢,差距是越拉越大。”

95年的中國雖然也有了自己的分步光刻機,可在光刻機的光源上用的還是365納米(I線)近紫外光源,落后于國外的248納米(KrF)深紫外光源整整一代。

這也導致國內的光刻機在精度上,整整落后國外好幾個數量級。

吳銘聽到孫毅這么說,卻是心有不甘。

如今都已經知道問題出在哪里,卻因為錢不夠,無法將問題解決,這如何不讓他感到喪氣。

他皺起眉頭,問孫毅道:“難道就沒有別的辦法嗎?我們也可以自己出錢,支持光刻機的研發。”

顯然吳銘并不希望這樣被動地等待下去,他更希望能主動參與進去,提高中國的光刻機水平。

孫毅苦笑連連道:“我的好兄弟,你又不是不知道,華芯現在是小胳膊小腿,這種情況我們真的是無能為力。

光刻機研發是個燒錢大戶,沒有國家隊進場,一般人還真就吃不住。

我們現在就是將所有的身家都投進去,也填不滿光刻機研發這個無底洞。”

吳銘不甘道:“可也不能這樣眼睜睜地看著,總要做點什么。”

孫毅聽到吳銘這么一說,也覺得坐等下去也不是個事,哪怕是實力不夠,怎么說也得博上一把。

若是不博,豈不是徹底沒了希望。

這時他靈光一閃,想到如今的分步光刻機用的還是干式光刻機技術,而不是后世EUV問世之前流行的浸入式光刻機技術。

而干式光刻機與浸入式光刻機工作原理大致相似,兩者不同的是干式光刻機的透鏡和硅片之間的空隙填充的是空氣,而浸入式光刻機的透鏡和硅片之間的空氣填充的是液體。

目前因為干式光刻機還沒有到達它的上限,再加上國外目前雖然對浸入式光刻機技術有過研究,但目前使用的浸入液是環辛烷之類的液體。

導致人們因為對浸入液的充入、鏡頭的沾污、光刻膠的穩定性和氣泡的傷害等關鍵問題缺乏了解,國外的相關實驗室因此并未對浸入式光刻展開深入的研究。

他完全可以趁機從這方面著手,在已有的干式光刻機的基礎上探索浸入式光刻機技術,從而實現彎道超車。

于是他立馬有了主意,對吳銘道:“是要做點什么,你看這樣如何?

雖然研發上我們沒有那么多錢,但我們可以先找一些這方面的人才進行預研。

等過幾年我們有了資本,能夠支撐起光刻機的研發,我們再回頭搞光刻機的研發工作,到時候預研正好能直接為我們節省下大量的時間。”

吳銘一聽孫毅要預研,驚喜地問他道:“你準備與中科院光電所合作?”

孫毅卻是搖了搖頭道:“不,我們自己干。”

想到浸入式光刻機的未來的廣闊前景,他決定先要把相關專利掌握在自己手中,再決定選擇和誰合作。

哪怕到時候國內光刻機技術還是無法趕上,他也能憑借掌握的浸入式光刻機專利,在國際上縱橫捭闔,得到他想要的光刻機設備。

吳銘不知道孫毅的私心,卻在擔憂其它方面。

他皺著眉頭,憂心忡忡地問孫毅道:“你總不能到45所,中科院光電所去挖人吧!

咱們可不能因為挖人,把這兩家給得罪了,日后我們在光刻機上還要指望他們幫忙的。”

我是小卒 · 作家說

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